扫描电子显微镜-电子显微镜的基本结构和成像原理　

　

扫描电子显微镜的主要特点是景深大，图象富有立体感，制样简便，在观察形貌的同时，还可利用样品发出的其他信息在微小区域上作成分分析和晶体结构分析。扫描电子显微镜与透射电子显微镜各有特点，因此两者呈互相取长补短的关系。其基本结构及成像原理如图12-4。  　　　　　图12-4 扫描电镜的基本结构及成像原理　　　           ——自洪涛等 　　电子枪发射的电子束经加速电压加速后由第一聚光镜、第二聚光镜组成的电子光学系统形成一个直径小于10nm的极细的电子束并聚焦于样品表面。当电子束以适当角度打在样品表面时，将产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、X射线、透射电子等电子信息。信息的大小与样品的性质及表面形貌相关。根据不同的目的，利用不同的信息，可形成不同的像。在观察样品形貌时，检取的主要是二次电子及部分背散射电子。让电子束逐点扫描样品表面，并用探测器检取电子信息，再经放大器放大后调制显像管的光点亮度。由于显像管的偏转线圈电流与扫描线圈电流同步，因此，探测器检取的信息便在显像管荧光屏上形成反映样品表面形貌或性质的扫描电子图像。　　扫描电镜的放大倍数为显像管扫描线长度与样品扫描线长度之比，因此，只要调节扫描线圈中电流的大小，就可改变放大倍数。　　扫描电镜一般有两个显像管，一个是长余辉的，可减少闪烁现象，观察时使用；另一个是短余辉的，照相时使用。二者由转换开关选择。